真空器件的密封有兩種情況，一種是密封件把充滿液態(tài)介質(zhì)的某一容器與外部真空空間分割開。在這種情況下，密封件的主要作用是防止液態(tài)介質(zhì)漏入真空空間。另一種情況是密封件把真空內(nèi)腔與外腔分割開，它的作用是保持要求的真空度。這種情況比較復(fù)雜，因為周圍氣體介質(zhì)即使稍微漏入真空腔內(nèi)，也會使其真空度降低。如果漏入了腐蝕性氣體，真空設(shè)備就可能損壞。在很多情況下，真空度和真空空間的潔凈，對真空條件下進(jìn)行的各種工藝過程的質(zhì)量有決定性的影響。 真空器件所使用的機(jī)械密封在結(jié)構(gòu)上并無特殊之處。對于上述的第一種情況，通常是采用氣密性好的金屬波紋管型單端面機(jī)械密封。第二種情況則要用雙端面機(jī)械密封，若使用單端面密封，勢必存在密封端面不能獲得潤滑的問題。